液中研磨
將超精密拋光的研具工作面和工件浸泡在含磨粒的研磨劑中進行研磨。在充足的加工液中，借助水波效果，利用浮游的微細磨粒進行研磨加工。加工液對磨粒作用部分所產(chǎn)生的熱有極好的冷卻效果，對研磨時的微小沖擊也有緩沖效果，可以得到高質(zhì)量的鏡面。精密齒條
機械化學研磨
機械化學研磨，其加工機理是利用化學反應進行機械研磨，有濕式和干式兩種。
用于硅片最終精加工的研磨方法是典型的濕式條件下的機械化學研磨，研磨劑用含有0.01 μm大小的SiO2磨粒的弱堿性膠狀水溶液，而與它相配合的研具是表層由微細結(jié)構的軟質(zhì)發(fā)泡聚氨基甲酸涂敷的人造革。
干式條件下的機械化學研磨，是利用工件與磨粒之間產(chǎn)生化學反應的研磨方法。典型的有用輕質(zhì)SiO2磨粒的玻璃板研磨藍寶石。
化學機械拋光
化學機械拋光是一種利用研磨液的腐蝕作用和磨粒的機械作用雙重作用的研磨方法。
強調(diào)的是化學作用，其首先靠活性拋光劑的化學活性作用，在被加工表面上生成一種化學反應物，然后由磨粒的機械摩擦作用去除表面，它可以得到無機械損傷的加工表面，而且提高了效率。
